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    大理石平板的具體技術跟補償控制-泊頭市久豐量具制造有限公司
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    大理石平板的具體技術跟補償控制

    2021-10-19 19:13:32

    【一】、超機械加工的具體技術
    由于進行超機械加工的制作材料較小,其加工技術的步驟較為繁多,加工技術較為復雜,并且其表面粗糙度標準要在數百納米內,加工的形狀精度要達到百微米級別或者是百納米的級別,所以說,大理石平板在其加工的過程中,艱難程度是巨大的;并且在機械加工的過程中,同時還要應用磨削、切削等制作工藝,這無疑很是加重了超機械加工技術的實施難度?,F今機械加工中,大理石平板由于其精度受到環境影響微小,越來越廣泛的用于機械加工中的基準。
    1、磨削技術
    磨削技術在超機械加工技術中,其實就是對產品進行拋光與磨光的過程。但是有許多的超機械加工材料由于其性質的問題,很多材料都較為脆弱,在進行超機械加工技術磨削加工環節中,容易出現材料斷裂等問題,導致資源的浪費。因此在進行超機械加工技術磨削加工環節技術中,需要不斷地提升加工機床在高速運轉過程中的精度以及機床的剛度,并且還要其磨削刃的鋒利性,提高產品的生產效率,加工產品的質量。
    2、切削技術
    為了加工機械的質量以及機械的度,切削技術在超機械加工技術中是較為重要的制作環節。因此為了減少切削加工過程中產生的誤差,便要求技術人員在切削的過程中要投入全部的耐心與精力;同時還要控制好切削的形態,切削的鋒刃度以及切削環境的溫度等條件。經歷了大量相關的實驗,許多科一學家已經可以將切削加工中需要達到的各種因素數據然后確定,對切削加工技術的水平有了很大的提高。
    3、研磨技術
    在產品磨削加工中,由于產品具有形態各異的形狀,而造成產品研磨失敗率一直居高不下,使產品研磨的失敗,導致了其產品需要重復的進行磨削加工,產品生產效率較為的低下,產品完工時間延長。因此,在產品進行研磨的階段,就要針對產品的給進速度以及停留時間,做出準確的估算,提高產品研磨的成功率。
    【二】、擾動分析與補償控制
    掃描過程中,掩模臺勻速段預期控制精度為其位置誤差小于40nm,任何擾動因素都會對該精度產生嚴重影響,大理石平板平臺需要對外部存在的干擾進行分析,并設計相應的前饋控制器進行補償。主要包括:投影物鏡振動前饋補償、粗微臺電磁耦合補償、垂向對水平向的耦合補償等。
    1、投影物鏡振動干擾與補償
    投影物鏡通過機架支撐,具有質量大、重心高等特點,掃描運動所致的運動沖擊易造成投影物鏡產生振動,任何微小振動將造成曝光線條偏離嚴重,影響同步掃描的曝光精度,因此,需要對物鏡振動所致干擾進行補償,以掩模臺與投影物鏡的相對位置關系。
    2、垂向運動對水平向運動耦合與補償
    工作臺的微動臺為空問6白由度運動,3個垂向直流電動機驅動凸輪單元支撐水平向洛倫茲電動機,實現垂向與水平向的控制分離。工作臺在掃描曝光過程中,為補償不同的硅片形貌誤差,需要進行垂向的調平調焦運動,此運動將導致水平向洛倫茲電動機動、定了問隙發生變化,從而引起水平向驅動力產生角度傾斜。同時,垂向的調平調焦運動要求執行部件有較高的響應速度,隨之而來的是運動可能造成的振動,從而導致垂向運動對水平向產生擾動。
    對于此類擾動,采用垂向加速度前饋控制進行補償,將垂向運動作為擾動力通過補償模型引入控制器。
    3、粗、微運動臺電磁耦合與補償
    工作臺粗、微運動依靠平面電動機的電磁耦合進行關聯,掃描運動由主從控制模式實現,即微動臺實現小行程、納米級運動,粗動臺大行程、微米級跟隨,粗動臺以逼近霍爾傳感器的值為零跟隨微動臺運動。由于粗動臺(直線電動機)白身結構所限,在跟隨運動時會產生較大的推力波動,雖然該波動可以通過實測手段并結合PID中的積分環節予以測量和補償,但由于粗、微運動精度存在量級上的差異,粗動臺的運動誤差仍然可以通過電磁耦合影響微動臺的控制精度,需要設計補償控制器此耦合擾動。

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